微型氣動隔膜閥由內置動力和外接氣體動力交替驅動內置活塞實現(xiàn)流路瞬間切換,具有極長的使用壽命、極短的驅動時間（10毫秒）、極小的死體積。由于不需外置汽缸，大大減少了安裝空間；其高可靠性使該閥在包括樣品進樣和柱切換的流程氣相色譜法上得到非常成功的應用。
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